使用直径为0.9mm、表层电镀500＃粒度磨粒的微磨棒对垂直于镍基单晶高温合金面的微磨削加工，通过对微磨削亚表面塑性变形层的微观组织观察得出镍基单晶高温合金的剪切滑移发生在沿着晶格内部的晶面族。通过单因素试验分析得出:随着进给速度和磨削深度的增大，镍基单晶高温合金的微磨削切向磨削力、法向磨削力和亚表面损伤深度均呈增大趋势:进给速度大时，砂轮堵塞严重，磨削表面出现明显的震痕，亚表面损伤也大;磨削深度较大时，磨削表面沟壑较深，表面质量差，出现了较大的塑性变形层,随着主轴转速的增大，切向磨削力、法向磨削力和塑性变形层厚度呈减小趋势;但主轴转速过高时，变形层厚度也会出现增大的现象。在镍基单晶高温合金微型零件的生产过程中，很有必要采取措施来减小塑性变形层，以达到避免或者减小在高温工作环境环境中磨削表面发生再结晶的可能性。