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为了利用超导薄膜制作高性能电子器件和电路，必须发展超导薄膜的平面工艺。该文采用脉冲激光和掩膜方法进行了YBCO超导薄膜局域改性的实验研究，对改性条件等参数作了详细报道，并对改性的薄膜作了成分及超导电性的分析。最后利用微波近场显微镜对用激光局域改性方法制作的YBCO薄膜条纹器件进行了微波特性分布的分析。结果表明这是一种合适的制作高Tc超导薄膜器件的方法。