【摘 要】
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本文给出了表面波质量传感器的一些实验研究,根据横梁理论,在一级近似的条件下,基片应变与微小压力之间的关系是线性的,因此微质量负载引起声表面波延迟线器件基片长度的变化
【机 构】
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南京大学声学研究所近代声学实验室; 中国电子科技集团第58研究所;
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本文给出了表面波质量传感器的一些实验研究,根据横梁理论,在一级近似的条件下,基片应变与微小压力之间的关系是线性的,因此微质量负载引起声表面波延迟线器件基片长度的变化也是线性的,延迟线相位的变化也是线性的。如果延迟线与放大起构成振荡电路,那么就可以用振荡频率随质量的线性变化来测定质量的大小,本文用一般的243MHz 滤波嚣作为延迟线,在单模振荡、温度补偿及基片处理后,传感器的灵敏度达到3.8KHz/g,线性度在 0.5414%。
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