【摘 要】
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二次离子质谱(SIMS)是一种表面化学分析的有利工具,可以通过一次离子束和靶台的扫描来实现样品表面的二维和三维质谱成像分析.利用高的质谱分辨率,获得物质准确的分子式,实现
【机 构】
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中国科学院大连化学物理研究所,大连116023
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二次离子质谱(SIMS)是一种表面化学分析的有利工具,可以通过一次离子束和靶台的扫描来实现样品表面的二维和三维质谱成像分析.利用高的质谱分辨率,获得物质准确的分子式,实现样品表面化学组分的精确定性分析.采用飞行时间质量分析技术的二次离子质谱(Time-of-flight secondary ion massspectrometer,TOF-SIMS)具有离子传输效率高,单脉冲可以测量全部离子,分辨率比较高而且成本低等特点,因此是二次离子质谱,特别是表面扫描二次离子质谱的理想质量分析器,国际上几家二次离子质谱生产厂家都纷纷推出基于飞行时间质量分析器的二次离子质谱TOF-SIMS,如ION-TOF GmbH 公司的TOF-SIMS IV,Cameca TOF-SIMSI V,Physical Eletronics Inc.公司的Trift-III,Atom Sciences 和Ionwerks 几家以生产飞行时间质谱的公司也加入TOF-SIMS 的队伍,为用户定制TOF-SIMS.本课题组研制了一台高分辨单次反射TOF-SIMS的质量分析器。仪器总长约2m，飞行距离约3.7m，系统极限真空度维持优于10-7Pa。通过脉沖延时聚焦技术在激光电离氙气测试条件下，129Xe的分辨率达到了23000。
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