操作参数对硅烷热分解过程中硅粉形成的影响

来源 :2018年全国工业流体力学会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ig226

【摘要】

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　　本文建立了无定形硅粉成核的详细反应机理与流体流动、传热和传质模型耦合的数值模型，系统地对研究化学汽相沉积(CVD)反应器中操作参数对硅烷热解的影响规律.利用计算流体

【作者】

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张攀陈光辉王伟文

【机构】

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青岛科技大学机电工程学院,山东青岛266061青岛科技大学化工学院,山东青岛266043

【出处】

：

2018年全国工业流体力学会议

【发表日期】

：

2018年8期

【关键词】

：

材料科学热力学运输流体动力学反应

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　　本文建立了无定形硅粉成核的详细反应机理与流体流动、传热和传质模型耦合的数值模型，系统地对研究化学汽相沉积(CVD)反应器中操作参数对硅烷热解的影响规律.利用计算流体动力学(CFD)软件FLUENT 6.3 对硅烷分解和硅粉成核进行预测，探讨了总反应压力、进气成分和进气速度对硅烷转化和硅粉成核的影响规律.通过比较数值模拟的硅粉成核和文献中的实验数据，验证了该模型的有效性.结果表明，总反应压力、进口硅烷浓度对硅粉成核有着重要影响，而进口气体速度在一定范围内影响较小.

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