【摘 要】
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超导量子干涉器件(SQUID)是一种极高灵敏度磁通传感器,可以测量磁场、磁梯度、电压、电流、位移以及任何可以转化为磁通的其它物理量,已经被成功应用于广义相对论验证、
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,信息功能材料国家重点实验室,上海200050
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超导量子干涉器件(SQUID)是一种极高灵敏度磁通传感器,可以测量磁场、磁梯度、电压、电流、位移以及任何可以转化为磁通的其它物理量,已经被成功应用于广义相对论验证、暗物理探测等前沿基础研究以及高精度科研仪器设备研发,在生物影像、地球物理探测和无损探测等领域也具有规模化应用潜力。经过50余年的发展,SQUID器件设计、工艺、读出电路等已经相对成熟,但针对大型多通道系统以及复杂电磁环境下的应用,仍然存在读出电路复杂,系统集成难度大,非理想环境下系统的应用鲁棒性差等挑战。
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