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InP基RTD制备与特性分析
InP基RTD制备与特性分析
来源 :第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kyy06
【摘 要】
:
通过对InP基RTD器件的模拟分析,设计了高掺杂发射区RTD器件层结构。采用气态源分子束外延的方法生长制备出了该结构的RTD器件,室温下具有较好的负阻特性,峰值电压0.6V,峰值电
【作 者】
:
王伟[1]孙浩[2]田彤[2]艾立鹍[2]谈惠祖[2]齐鸣[2]孙晓玮[2]
【机 构】
:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所太赫兹固态技术实验室,上海 200050 中国科学院研究生院,北京 100049
【出 处】
:
第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
【发表日期】
:
2010年期
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通过对InP基RTD器件的模拟分析,设计了高掺杂发射区RTD器件层结构。采用气态源分子束外延的方法生长制备出了该结构的RTD器件,室温下具有较好的负阻特性,峰值电压0.6V,峰值电流密度为26KA/cm2.峰谷电流比1.56,与模拟结果进行了比较与分析,为进一步改善器件性能奠定了基础。
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