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该文介绍了一个单栅宽束低能离子源、离子束在50mm范围内，离子束引出电压0～1000V时，离子束流密度可达0～60μA/cm[**]，这对离子束辅助光学镀膜（I·A·D）来说是够用的。（本刊录）
一个光学镀膜用低能离子枪的特性
【摘 要】
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该文介绍了一个单栅宽束低能离子源、离子束在50mm范围内，离子束引出电压0～1000V时，离子束流密度可达0～60μA/cm[**]，这对离子束辅助光学镀膜（I·A·D）来说是够用的。（本刊录）
【机 构】
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南开大学
【出 处】
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中国光学学会85年光学薄膜学术讨论会
【发表日期】
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1985年期
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