外场诱导碳基薄膜中特殊纳米结构可控制备的研究进展

来源 :第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:b56240320
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  随着国家高新技术装备的迅速发展,对润滑材料长寿命、高可靠方面的要求也不断提高。薄膜中特殊纳米结构的形成也是影响a-C:H薄膜真空摩擦性能的一个重要因素。近年来的一些研究也发现,一些特殊的纳米结构(如类富勒烯、碳纳米管等结构)的形成对碳膜力学、摩擦学性能都具有重要的影响。文中综述了不同纳米结构特征对薄膜硬度、韧性、磨损寿命(尤其是真空环境下)等力学、摩擦学性能的影响,探讨了不同结构与性能的相关性及作用机理。
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