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简单介绍用球面电离器的多靶位强流溅射负离子源的使用情况。比较仔细叙述新的换靶机构和与之配套的电控系统。报导源的一些改进。
新的多靶位强流溅射源电动换靶装置及源的一些改进
【摘 要】
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简单介绍用球面电离器的多靶位强流溅射负离子源的使用情况。比较仔细叙述新的换靶机构和与之配套的电控系统。报导源的一些改进。
【机 构】
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院上海原子核研究所九室
【出 处】
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97全国荷电粒子源粒子束学术会议
【发表日期】
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1997年期
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