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该文介绍了用于负型黑底CPT制造的日产复配型光致抗蚀剂Noculen-10的光谱曲线。黑底制作时光致抗蚀剂膜厚的测试方法、光致抗蚀剂注入前玻屏内表面的湿泣状态对感光性的影响、光致抗蚀剂成膜后干燥程度对感光性的影响及曝光前屏温对感光性的影响。所有实验均在生产线上完成,感光性的评价包括二个方面,即黑底条的整齐程度及黑底条宽与荫罩槽宽的比值。