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本研究采用HXD-1000硬度仪对以硅为基底的DLC膜的硬度进行了测量，表明随着压痕对角线长度的增加，基底硅硬度与DLC膜复合硬度是减小的，形成压槽尺寸效应。
类金刚石薄膜的显微硬度测量
【摘 要】
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本研究采用HXD-1000硬度仪对以硅为基底的DLC膜的硬度进行了测量，表明随着压痕对角线长度的增加，基底硅硬度与DLC膜复合硬度是减小的，形成压槽尺寸效应。
【机 构】
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1.中国航天科技集团公司五院510所表面工程技术国家级重点实验室，兰州730000
【出 处】
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TFC'07全国薄膜技术学术研讨会
【发表日期】
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2007年期
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