论文部分内容阅读
本文介绍了M24100-1/UM电子束曝光机中的激光工件台控制系统的工作原理、硬件结构、软件功能、以及使用情况,重点介绍其控制技术.
M24100-1/UM电子束曝光机激光工作台控制技术
【摘 要】
：
本文介绍了M24100-1/UM电子束曝光机中的激光工件台控制系统的工作原理、硬件结构、软件功能、以及使用情况,重点介绍其控制技术.
【机 构】
：
信息产业部电子第四十八研究所(长沙)
【出 处】
：
第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
：
2001年期
其他文献
本文建立一个更为严格的描述电子散射过程的物理模型,在此基础上运用蒙物卡罗方法模拟电子在靶体PMMA-Si衬底中的复杂散射过程,并通过大量计算研究不同曝光条件对胶中沉积能
摘要：随着校园信息化建设的迅速发展，网络中潜藏的不安全的因素逐渐威胁着高校网络安全，对此我们将对高校信息系统等级保护工作现状进行分析，并提出相应的建议，希望对创建稳定的校园网络环境有所帮助。 關键词：信息安全；等级保护；现状分析 近年来，由于教学、科研和管理的需要，高校对网络基础架构和信息安全逐渐提出了更高层次的要求，网络安全等级保护受到越来越多的高校管理者的关注。本文结合高校网络架构和特点，
在水利工程的规划布置中,都离不开输水隧洞.水利隧洞是在复杂的水环境下运行的,混凝土不但有不同程度的长期抗磨蚀要求,还要承受围岩和水压力,特别是有的工程在围岩地质条件
在进行套准时用于检测背散射电子信号的探测器中,微通道板以其对电子能量的敏感范围宽、信噪比高、占地小、带宽宽而在国内外广为应用.本文介绍一种微通道板对所探测到的信号
我国经济带动不断地全面发展,前一次规划实施中程的效果没有让人产生太多的期望.城镇以及工业项目的建设一次次的挑战原有的土地规划制度,同时也将一些容易被忽视的问题暴露
我国农电水利系统早在春秋战国时期就已经形成，经过多年的发展与改进，其施工技术的应用水平有所提高，现已经能够实现对大面积农田进行灌溉。目前，在小型农电水利工程建设当中，常用
荔枝果皮组织约占鲜荔枝单果重的15%,主要由类黄酮组成,成熟荔枝果皮中的主要类黄酮有黄酮醇和花青素,已报道的黄酮醇主要有原花青素B4、原花青素B2和表儿茶素,花青素主要有
针对油泵润滑系统存在的4050高温合成航空润滑油闪点前后倒置的现象,做了大量试验,在逐一排除干扰因素后,确定原因为现场操作不规范,使洗涤汽油混入润滑油中,导致前闪点大幅
为加快改善环境空气质量，打赢蓝天保卫战，发展清洁能源,抓好天然气产供储销体系建设。临海市统筹谋划，城乡同步，在浙江省率先全面实施了“燃气革命”，推进城乡管道燃气普及工程、