【摘 要】
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介绍了反射式单模光纤共焦扫描测量方法的原理、构成及试验装置.该方法采用单模光纤构成共焦测量的主要光路,根据反射光的亮度来确定光点共焦位置.系统通过光聚焦点扫描被测
【机 构】
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哈尔滨工业大学,自动化测试与控制系,黑龙江,哈尔滨,150001
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介绍了反射式单模光纤共焦扫描测量方法的原理、构成及试验装置.该方法采用单模光纤构成共焦测量的主要光路,根据反射光的亮度来确定光点共焦位置.系统通过光聚焦点扫描被测物体的表面,控制电机实现Z轴扫描,从而实现了物体的三维重构.与传统的共焦显微测量方法相比,该方法具有更大的测量范围,更快的测量速度.试验结果分析表明,该系统测量范围为500μm,系统横向分辨率为0.67μm,纵向分辨率为2.3μm.
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