纳米晶薄膜的激光法制备及光学特性研究

来源 :第十二届全国固体薄膜会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gyivan0513

【摘要】

：

利用准分子KrF激光器在Si及石英衬底上生长了TiO2纳米晶氧化物薄膜，系统讨论了基片温度、生长气氛等因素对薄膜结构特性的影响.通过实验参数的优化，得到了单相的锐钛矿和金红石

【作者】

：

杨光;龙华;陆培祥;

【机构】

：

华中科技大学武汉光电国家实验室,武汉 430074

【出处】

：

第十二届全国固体薄膜会议

【发表日期】

：

2010年期

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用准分子KrF激光器在Si及石英衬底上生长了TiO2纳米晶氧化物薄膜，系统讨论了基片温度、生长气氛等因素对薄膜结构特性的影响.通过实验参数的优化，得到了单相的锐钛矿和金红石相TiO2薄膜.x射线衍射及扫描电镜表明薄膜具有很好的结晶性和表面形貌，结合飞秒激光(800nm，50 fs)和z扫描方法测量了薄膜的非线性光学特性，通过开孔和小孔测量，得到了薄膜三阶非线性极化率的实部和虚部.

其他文献

薄膜电子材料成份和厚度的能谱分析

本文利用能谱分析技术和牛津薄膜分析软件ThinFilmID对几种薄膜电子材料的厚度和成份进行了分析;分析结果与SEM断面测量，X射线荧光测厚和偏光干涉测厚测量结果进行了比较。结

会议

Si基LaNiO3导电薄膜的制备

镍酸镧LaNiO3是具有钙钛矿结构的氧化物材料，由于其特定的晶体结构和优良的导电特性，作为压电、铁电陶瓷的电极材料具有良好的应用前景。随着硅基集成铁电学的发展，在硅基板上制

会议

辉光功率对退火后微晶硅薄膜微结构的影响

采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备非晶硅薄膜，然后经快速热退火使其晶化。利用X射线衍射仪(XRD)，拉曼光谱仪(Raman)，扫捕电子显微镜(SEM)和傅立叶变换红外吸收光谱仪(

会议

北京古枣优良品种介绍

一、北京马牙白枣起源历史悠久,1300年前的打枣谱即有记载。果实小,是不规则的长卵形或长锥形,果顶略歪斜,不对称,纵径3.1～3.5厘米,横径1.5～2.1厘米,平均果重8克,大果重10克,大

期刊

优良品种鲜食品质平均果重可食率果肉黄白色庭院栽培打枣谱龙爪枣磨盘枣制干

结构/功能一体化集成薄膜材料

为了满足恶劣环境下金属结构件的健康监测需要，本论文采用表面工程技术，在金属结构件表面依次沉积由粘接层、绝缘层、敏感层、防护层等组成的集成敏感薄膜，在不破坏金属结构件力

会议

构思初探-(七星)中国区域市场

“SEVEN STARS”品牌由创始人朴相旭(PSEBASTIAN),自20世纪70年代末创建以来.一直以设计兼容并蓄.融合东西方的流行元素于体而著称,他所推崇和遵循的经营休闲类服饰的差异化

期刊

中国市场品牌理念SEVENSTARS公司经营策略服装业

ZnO水热法边缘选择性生长在纳米器件方面的应用

通过在ZnO种子层上沉积一层钝化层，这样水热法所制备的纳米杆只会生长于边缘，来得到边缘选择性生长的ZnO纳米杆阵列。该方法能够生长出密度可调的ZnO纳米杆阵列及准平行的ZnO纳

会议

ZnO水热法选择性生长纳米器件纳米杆阵列制备紫外探测器应用前景平行密度种子层钝化层电子源场发射性能面具方法沉积

大杨集团合作考察之旅-IVANO CATTARIN凯特林·伊万诺-你要给大杨带来什么?

GIORGIO ARMANI乔治&AMP;#183;阿玛尼品牌在中国男装业被奉若至尊,它的首席设计师为什么专程来到大杨集团?凭借大师的眼光,他在大杨集团看到了什么?他与大杨集团的深度合作将

期刊

集团合作凯特GIORGIOARMANI制造基地产品品质工艺制造阿玛尼设计师男装中国

GaN基纳米柱LED中的表面复合

以自组织的Ni纳米岛做掩膜在LED外延片上成功制备出了直径在100-300nm之间，高度为700nm左右的LED纳米柱结构，并对纳米柱进行了结构和发光性质方面的一些测试。发现纳米柱在用稀

会议

GaN纳米柱结构LED内量子效率强度增强发光性质处理自组织外延片纳米岛HCl制备直径掩膜损伤刻蚀测试表面

大都会里的优雅进行时-Giorgio Armani北京、上海、香港旗舰店

主导时尚和高级消费品的集团之一Armani集团.总像一组轻音乐的乐队.弹奏着悠扬而优雅的曲调.给大都会的时尚色彩里添加几许高贵迷人的基调.Armani集团拥有四千六百名直接雇员

期刊

ArmaniGiorgio优雅北京上海旗舰香港生活用品集团消费品化妆品眼镜配饰服装首饰

纳米晶薄膜的激光法制备及光学特性研究

与本文相关的学术论文