【摘 要】
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采用线性离子束混合磁控溅射技术制备了不同溅射电流下的铜铬共掺杂类金刚石薄膜，系统地研究了薄膜的微结构演变和润湿性能.同时，在接触角测量的基础上采用Owens二液法计算了薄膜的表面能.结果发现，随着溅射电流的增加，铜铬金属掺杂含量增加，薄膜中sp2/sp3增加，当溅射电流为2.2A时，薄膜中出现铜的氧化物相及碳化铬相，接触角从77.11°(1.5A时)增加到103.6°(2.2A)，这主要归因于铜铬
【机 构】
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中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室浙江省海洋材料与防护技术重点实验室中国科学院宁波材料技术与工程研究所 宁波315201
【出 处】
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第七届全国青年表面工程学术会议暨重庆市第二届汽车摩托车摩擦学材料先进技术与应用推进会
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采用线性离子束混合磁控溅射技术制备了不同溅射电流下的铜铬共掺杂类金刚石薄膜，系统地研究了薄膜的微结构演变和润湿性能.同时，在接触角测量的基础上采用Owens二液法计算了薄膜的表面能.结果发现，随着溅射电流的增加，铜铬金属掺杂含量增加，薄膜中sp2/sp3增加，当溅射电流为2.2A时，薄膜中出现铜的氧化物相及碳化铬相，接触角从77.11°(1.5A时)增加到103.6°(2.2A)，这主要归因于铜铬含量的增加，形成电负性较小的铜氧化物相，同时sp2/sp3增加，导致薄膜表面悬挂键减少，两者共同作用下降低了表面能极性分量，从而导致铜铬共掺杂类金刚石薄膜亲/疏水性能发生明显变化，此外，表面形貌和粗糙度的分析也证实极性分量是导致铜铬共掺杂类金刚石薄膜与极性液体(水)之间润湿性能改变的根本原因.
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