论文部分内容阅读
微波等离子体化学气相沉积是制备高质量金刚石膜的一个理想的方法。本文利用具有强化电磁场分布的压缩波导结构，设计了一套微波等离子体源，该源能够在较低气体流量和微波功率条件下，实现高气压的稳定放电。利用该微波等离子体源进行金刚石膜的化学气相沉积，并对沉积的金刚石膜进行SEM表征，研究了与该系统相关的金刚石膜沉积工艺与金刚石膜质量之间的关系。高气压下微波等离子体化学气相沉积实现了高质量金刚石厚膜的高效率、低成本制备。