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本文报告了两种基于MEMS硅体微机械加工的低微差压传感器,其具有的高灵敏度、高精度和可随批量大幅度降低成本的能力为结构风工程实验和建筑迎风墙载荷谱试验提供了新的手段.
MEMS微压传感器及其在结构风工程实验中的应用
【摘 要】
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本文报告了两种基于MEMS硅体微机械加工的低微差压传感器,其具有的高灵敏度、高精度和可随批量大幅度降低成本的能力为结构风工程实验和建筑迎风墙载荷谱试验提供了新的
【机 构】
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昆山双桥传感器测控技术有限公司,昆山,周庄,215325
【出 处】
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第十二届全国结构风工程学术会议
【发表日期】
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2005年期
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