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该文通过对对称体微机械电容式力平衡加速度传感器进行力学分析的基础上，对电容式加速度传感器的灵敏度及固有频率进行计算机模拟计算，并以灵敏度和固有频率的乘积取优值，作为器件结构参数优化的标准，并结合工艺条件确定加速度传感器的最佳结构参数。
对称电容式力平衡加速度传感器结构优化设计
【摘 要】
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该文通过对对称体微机械电容式力平衡加速度传感器进行力学分析的基础上，对电容式加速度传感器的灵敏度及固有频率进行计算机模拟计算，并以灵敏度和固有频率的乘积取优值，作为器
【机 构】
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科学院上海冶金研究所传感器技术国家重点实验室
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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