面向氢动力工程机械的SAW氢气传感器氢敏性能研究

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氢气传感器是氢能在工程机械新能源动力系统安全应用的关键技术.为分析声表面波(SAW)氢气传感器Pd膜与氢气作用过程,利用瞬态分析法获取了SAW在128°YX-LiNbO3压电基底表面的传播过程图.有限元分析了氢气浓度分别为0.05、0.1、0.15、0.2、0.3、0.37、0.43和0.5下SAW的传播状态,获得了氢气浓度对SAW传播过程中延迟时间、电压输出幅值、传感器捅入损耗的影响规律.结果表明,当氢气浓度为0.43时,延迟时间、电压输出幅值和插入损耗曲线变化趋于平稳,与Pd原子和H原子结合过程中α-PdHx、α/β-PdHx、β-PdHx之间的转换过程相一致.通过对SAW氢气传感器在不同氢气浓度下传播特性的有限元分析,为后续氢敏性能实验研究提供了一定的参考价值。
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