【摘 要】
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采用非平衡磁控溅射技术在不同基体(不锈钢、硅片)上沉积了双金属(Ag、Ti)共掺a-C∶H薄膜，考察了空间原子氧、紫外辐照对薄膜组成、结构和真空摩擦学性能的影响。利用XPS、AFM、球盘摩擦磨损试验机等研究了辐照前后薄膜的变化。结果表明：经辐照后，薄膜中sp2杂化碳和氧的含量增加、Ti含量降低，薄膜的表面粗糙度增加。此外，经原子氧辐照后，薄膜表面形成了Ag的氧化物保护膜，阻止了薄膜进一步氧化，但薄
【机 构】
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表面工程研究所,太原理工大学,太原,中国,030024 中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家
【出 处】
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第七届全国青年表面工程学术会议暨重庆市第二届汽车摩托车摩擦学材料先进技术与应用推进会
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采用非平衡磁控溅射技术在不同基体(不锈钢、硅片)上沉积了双金属(Ag、Ti)共掺a-C∶H薄膜，考察了空间原子氧、紫外辐照对薄膜组成、结构和真空摩擦学性能的影响。利用XPS、AFM、球盘摩擦磨损试验机等研究了辐照前后薄膜的变化。结果表明：经辐照后，薄膜中sp2杂化碳和氧的含量增加、Ti含量降低，薄膜的表面粗糙度增加。此外，经原子氧辐照后，薄膜表面形成了Ag的氧化物保护膜，阻止了薄膜进一步氧化，但薄膜在真空中的摩擦学行为退化，这与薄膜中有效润滑组分的减少有关。而经紫外辐照后，薄膜在真空中的摩擦系数降低、耐磨寿命延长，这可能与辐照导致薄膜内部结构重组，进而有利于摩擦过程中纳米晶的扩散有关。
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