扫描式在线薄膜激光测厚仪的研制及应用

来源 :中国机械工程学会机电自动化及机器人学术交流会工厂自动化和质量控制学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:szhzm4158
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该文介绍以激光传感技术为核心的体电一体化在线薄膜测厚仪的研制及应用,从各专业的角度分析了影响测量精度的因素并提出解决方法。为薄膜及感光材料生产行业提供先进的在线非接触式测量厚度的手段。
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