薄膜测厚仪相关论文
介绍一种以8031单片机为核心,采用电容传感器对薄膜厚度进行动态在线测量的高精度高分辨率仪器。仪器采用反馈运算方法,使用驱动电缆技术......
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view......
该文介绍以激光传感技术为核心的体电一体化在线薄膜测厚仪的研制及应用,从各专业的角度分析了影响测量精度的因素并提出解决方法。......
对薄膜测厚系统进行了详尽剖析,从整体上论述了膜厚测量系统,研究了测厚系统中薄膜测厚仪的关键硬件电路,对薄膜测厚仪的软件流程......
介绍一种以8031单片为核心,采用电容传感器对薄膜厚度进行动态在线测量的高精度高分辨率仪器。仪器采用反馈运算方法,使用驱动电缆技术,克......