涡轮分子泵是获得清洁高真空的重要设备涡轮分子泵单叶列传输几率的计算是设计分子泵的基础,通过Monte-Carlo 可以在计算机上直接模拟单个分子在叶片通道内的运动经历及其最终结果,从而计算涡轮分子泵单叶列的传输几率单叶列的在使用Monte-Carlo 法计算涡轮分子泵单叶列抽气几率的过程中,气体分子在与叶片壁面碰撞的过程中会发生反射,根据反射模型可以分为镜面反射、漫反射和镜面发射与漫反射按比例组合,不同的反射模型和是和叶片的表面的表面粗糙度相关的。在计算过程中,通过选取漫发射的比例为k,如果比例系数越大,则表示叶片表面粗糙度越大,这样就可以研究表面粗糙度对涡轮分子泵抽气几率的影响。根据传输几率和叶片表面粗糙度的关系可以选择合适的加工方法,这对叶片的设计和提高涡轮分子泵的抽气性能提供了设计思路。