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仿真技术是一门全新的学科和功能强大的工具,但在国内的薄膜工艺研究领域仿真技术还很少得到关注.本文利用软件FLUENT对薄膜工艺喷雾气流场做了流体力学仿真,通过仿真得到的结果,大大提高了设计的效率,降低了设计成本;加深了对薄膜工艺过程的了解,带来新的研究思路.
系统仿真技术在薄膜工艺研究中的应用
【摘 要】
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仿真技术是一门全新的学科和功能强大的工具,但在国内的薄膜工艺研究领域仿真技术还很少得到关注.本文利用软件FLUENT对薄膜工艺喷雾气流场做了流体力学仿真,通过仿真得到的
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071
【出 处】
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第九届中国太阳能光伏会议
【发表日期】
：
2006年期
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