声表面波器件薄膜电极脱落的微观分析

来源 :第四届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunnymurder
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用磁控溅射法在Bi<,12>GeO<,20>(BGO)基片上制得的Au/Cr薄膜电极容易脱落.通过电子探针和X射线衍射等微观分析方法,探明了Au/Cr薄膜电极与基片间,仅是弱力结合的简单附着机制;并且由于界面晶格失配使Cr膜承受着强烈的内应力,引起起皱,大大降低了薄膜电极的附着性能,最终导致薄膜电极脱落.
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