收集环境振动能微压电悬臂梁的制作工艺与测试

来源 :中国微米纳米技术学会第十一届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liyin900101
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近年来,随着集成电路技术和微/纳机电系统(MEMS/NEMS)技术的不断提高,无线传感网络节点及便携式微电子产品应用越来越广泛。目前,微器件的电源主要是化学电池,但随着节点体积减小和使用数量迅速增加,更换大量的耗尽电池非常困难。因此,研制长寿命的微型化电源技术已经成为亟待解决的关键技术问题。本文利用非线性超声检测方法对两个45#钢疲劳试件的疲劳裂纹扩展进行了检测,验证了疲劳裂纹扩展长度与二次谐波激发效率的敏感关系。
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