多晶硅薄膜在薄膜晶体管(TFT)领域具有重要应用,对于TFT,制备结晶度高、载流子迁移率大的多晶硅薄膜具有重要意义。本文采用LPCVD系统以高纯SiH4为气源,在p型4英寸晶向单晶硅衬
微型控制力矩陀螺(CMG)可以用来改变像纳米卫星等微小航天器的姿态,相比于微推进器技术,其不存在燃料耗尽的问题。美国华盛顿大学的Reiter等人提出了一种微型CMG的方案,由于输出
任正非,中国最神秘的企业家,在企业管理领域,是近乎神级人物的存在.几乎从不参与媒体活动的他,在华为内部文件上的“只言片语”都能成为科技媒体的头条新闻.人们从华为的点点
甲醛气体在工业、医药等日常生活领域被广泛应用。但甲醛气体对人体健康十分有害。在半导体甲醛气体传感器的研究中,由于薄膜型微结构传感器是以硅片为衬底,可以集成在集成电路
氮化镓(GaN)及其相关的化合物半导体材料在光电子器件以及高频高功率器件领域已经取得了成功的应用,这得益于氮化镓优良的材料性能,例如:高禁,带宽度、高电子饱和速率和高击穿电
随着微流控芯片检测技术的发展,电泳分离技术已经成为生命科学及化学分析中一种常用的分离和分析手段。PMMA由于具有成本低、制作简单、透光性和电绝缘性好的特点,受到国内外学
在测量科学中湿度是一个非常重要的参数,目前湿度传感器的研究正向集成化、智能化、多参数检测的方向发展。其中集成湿度传感器主要利用了与CMOSIC工艺相兼容的技术将传感器集
本研究主要以实验探讨在Y字型之磁流体微型混合器,以水基磁性流体与水分别注入两个入口处后的混合效应。实验中两种可互溶流体分别以泵浦驱动,并施以一外加磁场,由于磁性粒子受
低噪声、高精度的微加速度计凭借其低于μg的检测精度和小体积、低功耗的特点,越来越广泛地应用于惯性制导、太空微重力检测、侧翻控制和平台稳定性、地震检测以及GPS导航系统
今年6月16日,是河北省唐山市国债交易中心成立三周年纪念日,为推动国债事业发展,当日该中心举办了纪念活动,并向见义勇为基金会捐款。唐山市委、市政府和市人大、政协的领导