【摘 要】
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为了提高工模具的服役性能,采用中频反应溅射,无灯丝离子源辅助的方法沉积了(Cr,Ti,Al)N多元硬质薄膜。分别用电子能谱、X-射线衍射、显微硬度计、划痕仪和干涉显微镜分析了
【机 构】
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广州有色金属研究院材料表面中心,广东工业大学
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为了提高工模具的服役性能,采用中频反应溅射,无灯丝离子源辅助的方法沉积了(Cr,Ti,Al)N多元硬质薄膜。分别用电子能谱、X-射线衍射、显微硬度计、划痕仪和干涉显微镜分析了薄膜的成分、相组成、硬度、膜／基结合力及膜层厚度。结果表明:用此法制备的薄膜为含有多相结构的(Cr,Ti,Al)N多元硬质膜,晶粒细小,沉积速率快,显傲硬度高达35 GPa,结合强度高度达80 N,综合性能优异。
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