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本文研究了密封后器件的泄漏问题，给出了器件内压强及漏率随时间变化的关系公式，对器件封装气密性的研究具有指导意义。根据本文的研究，在不同的工作环境下，按照不同的要求，需选用不同漏率的器件，以保障整机系统的可靠性。
电子元器件气密性封装寿命研究
【摘 要】
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本文研究了密封后器件的泄漏问题，给出了器件内压强及漏率随时间变化的关系公式，对器件封装气密性的研究具有指导意义。根据本文的研究，在不同的工作环境下，按照不同的要求，需选用
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,北京
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
【发表日期】
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2013年期
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