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文章借鉴激光清洁技术、激光全息掩模以及激光冷却原子等方面最近取得的科学新成就，评述了激光技术在微电子领域的新应用及其动向。
激光技术在微电子领域的新应用及其动向
【摘 要】
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文章借鉴激光清洁技术、激光全息掩模以及激光冷却原子等方面最近取得的科学新成就，评述了激光技术在微电子领域的新应用及其动向。
【机 构】
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科学院上海光学精密机械研究所(上海)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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