【摘 要】
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以硅粉为原料,利用微波加热的方法制备以β-Si3N4为主体的氮化硅粉体,研究了氮化温度、添加稀释刺和添加NH4HCO3对氮化物相的影响。结果表明:微波合成氮化硅在1380℃反应得到
【机 构】
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以硅粉为原料,利用微波加热的方法制备以β-Si3N4为主体的氮化硅粉体,研究了氮化温度、添加稀释刺和添加NH4HCO3对氮化物相的影响。结果表明:微波合成氮化硅在1380℃反应得到的相组成为α-Si3N4和B-Si3N4,其中以形貌呈柱状或棒状的β-Si3N4为主体。讨论了微波合成氮化硅能够在较低温度下生成β-Si3N4的原因。添加稀释剂和NH4HCO3有助于硅粉的完全氮化。对硅粉直接氮化的热力学特征进行分析,结果显示提高温度并不利于Si3N4粉体的合成。
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