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声表面波谐振器作为频率控制元件，要求谐振频率准确，批量生产技术难度较大。该文对批生产的要素，关键工艺技术和工艺过程质量控制等方面进行了讨论。已批量生产的NDR系列声表面波谐振器三大系列百余品种，性能均达到国外同类器件水平，生产线通过ISO9002质量保证体系认证。
NDR系列声表面波谐振器批生产技术
【摘 要】
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声表面波谐振器作为频率控制元件，要求谐振频率准确，批量生产技术难度较大。该文对批生产的要素，关键工艺技术和工艺过程质量控制等方面进行了讨论。已批量生产的NDR系列声表面
【机 构】
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电子器件研究所
【出 处】
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中国电子学会第十届电子元件学术年会
【发表日期】
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1998年期
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