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温度对镀制精密光学薄膜的影响
温度对镀制精密光学薄膜的影响
来源 :第七届广东省真空学会学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:templedb
【摘 要】
:
在精密光学膜量产的过程,温度对产品的光学指标、膜层牢固度、稳定性、重复性及一致性起到非常关键的作用.本文研究,1温度的影响,2如何使温度精确控制满足高精密膜的量产,3确保
【作 者】
:
潘振强
【机 构】
:
广东肇庆振华真空机械有限公司,526060
【出 处】
:
第七届广东省真空学会学术研讨会
【发表日期】
:
2005年11期
【关键词】
:
精密光学薄膜
温度控制
光学指标
膜层牢固度
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在精密光学膜量产的过程,温度对产品的光学指标、膜层牢固度、稳定性、重复性及一致性起到非常关键的作用.本文研究,1温度的影响,2如何使温度精确控制满足高精密膜的量产,3确保温度的均匀性,4减少监控片与工件的温差。
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