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铁电薄膜具有优良的压电性、介电性、铁电性等，已经被广泛应用于传感器、电容器、非易失性存储器、红外探测器等微电子器件。随着薄膜制备技术的发展，铁电超晶格薄膜的研究已经得到广泛的关注。
BaTiO3/PbZr0.52Ti0.48O3超晶格薄膜的制备及其电学性能
【摘 要】
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铁电薄膜具有优良的压电性、介电性、铁电性等，已经被广泛应用于传感器、电容器、非易失性存储器、红外探测器等微电子器件。随着薄膜制备技术的发展，铁电超晶格薄膜的研究已经得到广泛的关注。
【机 构】
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中国科学院 金属研究所 沈阳材料科学国家实验室
【出 处】
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第十五届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2016年5期
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