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BaTiO3/PbZr0.52Ti0.48O3超晶格薄膜的制备及其电学性能
BaTiO3/PbZr0.52Ti0.48O3超晶格薄膜的制备及其电学性能
来源 :第十五届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vitaver
【摘 要】
:
铁电薄膜具有优良的压电性、介电性、铁电性等,已经被广泛应用于传感器、电容器、非易失性存储器、红外探测器等微电子器件。随着薄膜制备技术的发展,铁电超晶格薄膜的研究已经得到广泛的关注。
【作 者】
:
何斌
王占杰
【机 构】
:
中国科学院 金属研究所 沈阳材料科学国家实验室
【出 处】
:
第十五届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
:
2016年5期
【关键词】
:
铁电超晶格
BaTiO3
PbZr0.52Ti0.48O3
介电性能
铁电性能
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铁电薄膜具有优良的压电性、介电性、铁电性等,已经被广泛应用于传感器、电容器、非易失性存储器、红外探测器等微电子器件。随着薄膜制备技术的发展,铁电超晶格薄膜的研究已经得到广泛的关注。
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