【摘 要】
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本文利用扫描电声显微镜对多层半导体材料进行了无损的分层成像研究,并从理论上研究了多层半导体材料的电声成像分层检测机理.研究结果表明,利用电声显微分层成像,不仅可以观
【机 构】
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科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室(上海)
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本文利用扫描电声显微镜对多层半导体材料进行了无损的分层成像研究,并从理论上研究了多层半导体材料的电声成像分层检测机理.研究结果表明,利用电声显微分层成像,不仅可以观察到样品亚表面的缺陷分布,而且可以直观地区分缺陷的类型.研究结果显示了扫描电声成像技术在半导体领域中的应用前景.
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