【摘 要】
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微机械电容式加速度传感器代表了当今加速度传感器的潮流与发展方向,这一领域的研究对我国微加速度传感器研究具有重要意义。本论文主要任务是根据传感器测量电路的基本要求,
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微机械电容式加速度传感器代表了当今加速度传感器的潮流与发展方向,这一领域的研究对我国微加速度传感器研究具有重要意义。本论文主要任务是根据传感器测量电路的基本要求,设计和制作针对电容式MEMS加速度传感器的接口检测电路。论文首先讨论了电容式MEMS加速度传感器的工作原理和接口检测原理,为设计传感器检测电路提供了理论依据。在电路调试之前,首先利用计算机模拟软件进行了验证,简化了调试过程中的复杂性。通过模拟实验结果和制作实验结果的对比,说明我们所设计的电路各级符合设计要求。论文最后对所设计的检测电路进行了性能测试和分析,结果表明,电路具有很好的灵敏度和很好的抑制噪声的能力。
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