太赫兹辐射位于电磁波谱上微波与远红外之间,在宽带移动通信、卫星通信、军用雷达、物体成像、环境监测、医疗诊断等方面具有显著的研究价值。要真正地实现太赫兹波技术的广泛应用,有效地控制和操纵太赫兹波,对于太赫兹系统中功能器件如:太赫兹波导、偏振器、调制器、天线、开关、带阻带通滤波器等的研究尤为重要。近年来,各种各样的太赫滤波器件被陆续提了出来,但其性能、加工成本等都难以让人满意。频率选择表面是一种在自由空间对电磁波具有很好的滤波功能的金属二维周期阵列结构。飞秒激光微加工为频率选择表面的高精度加工提供了一种低成本的制造手段。因此,本论文研究将飞秒激光微加工技术应用于太赫兹滤波器件的制造,以加工制造为主,仿真分析和实验测试相结合,在铝箔上加工了基于圆形孔隙单元频率选择表面的太赫兹带通滤波器,期望解决太赫兹器件价格昂贵的问题,推动太赫兹技术的广泛应用。本文首先简要介绍了太赫兹的发展前景,接着重点介绍了太赫兹滤波器件和飞秒激光微加工的相关理论及研究现状。在此基础上,利用HFSS软件进行仿真设计,并结合飞秒激光微加工系统,对太赫兹滤波器进行了加工制备及性能测试。本文的主要研究内容如下:(1)搭建了飞秒激光微加工系统,开发了自动控制软件,进行了一系列加工实验来调试光路并优化系统,以10μm厚商用铝箔为实验材料进行了圆孔阵列的加工,重点分析了激光能量和加工速度的影响,优选出了适合加工的参数组合。(2)基于HFSS软件设计了四款基于圆形孔隙单元正三角排列频率选择表面的太赫兹带通滤波器,中心频率分别在0.4THz,0.6THz,0.8THz,1THz。分析了正三角形排列的圆形孔隙单元及Y孔单元频率选择表面的滤波特性。提出了一些新型的频率选择表面单元,为后续研究拓展方向。(3)飞秒激光微加工制作出实物滤波器,并经实验室搭建的太赫兹时域光谱系统(THz-TDS)测试,发现正三角形排列的圆孔单元及Y型单元频率选择表面具有较佳的滤波性能,且实验测试结果能够与HFSS仿真设计结果相吻合,故适合作为高性能太赫兹带通滤波器的快速设计及制造。