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确定性光学加工所产生的中高频误差会降低光学零件的抗激光损伤阈值,影响强光光学系统的安全运行,需要对其幅值和分布进行严格控制。磁流变抛光能够实现光学零件的高精度、高效率和低损伤加工,但磁流变抛光的去除函数束径比较小,容易产生中高频误差,从而引起光学零件的自聚焦效应和表面损伤。超精密车削适于加工频率转换等类型的强光光学零件,但是车削表面存在比较明显的加工纹理,需要对误差频谱进行表征和控制。针对上述情况,本文采用功率谱密度曲线研究磁流变抛光、超精密车削误差频谱的评价与表征方法,主要工作包括:1)根据强光系