装备制造业一直都是各个国家经济发展的基础,近年来,随着科学技术的不断进步,在微电子技术和航空航天等领域,对精度的要求越来越高。因此,在精密领域的水平是衡量一个国家经济能力和国际地位的重要指标。机床精度的高低,直接影响到所加工产品的精度,机床类型以及驱动方式的选择是影响机床精度的核心,而对影响机床精度关键问题的改善程度直接影响机床的整体精度,进而影响到所加工的产品质量。随着对精密加工技术需求范围越来越广泛,如何使机床真正实现大行程、高精密的运行已经成为现在亟需待解决的问题。因此,本论文在国家自然科学项目的支持下,对气浮工作台当中存在的一些关键问题进行了深入细致的研究,本论文主要研究内容如下：1、对气浮静压轴承在不同结构参数和不同供气压力条件下的承载力、气浮刚度、耗气量进行分析计算和实验验证,并提出采用增加均压槽的方式改善气浮静压轴承的承载特性。2、选择适合气浮工作台的传动方式,对传统的速度曲线进行改进,提出S型速度曲线规则,使其更加适合气浮平台的要求,推导出各时间段的加速度、速度、位移公式,并画出实时控制流程图。3、对气浮平台的变形问题进行分析,最终提出在气浮工作台与直线电机之间添加隔热材料的方法提高抑制变形的效率,并达到预期效果。4、提出通过提高气浮刚度的稳定性来提高气浮工作台运行直线度,并对气浮刚度公式进行推导,找出气浮刚度与气浮垫结构参数以及供气参数之间的关系,对气浮刚度误差公式进行推导,最终推导出了导轨副的总误差公式,为今后进一步提高导轨副的精度奠定了理论基础。