等离子体诊断是量级其性质和状态参量的必要手段,是等离子体研究和应用中的重要问题。对于等离子体的密度和电子温度的测量,静电探针法是主要的方法之一,尤其是对于低气压等离子体。但放电压强和等离子体密度下的静电探针条件并不相同,需要针对不同工作环境进行适当选择。本文主要利用不同尺寸的静电探针对空心阴极放电等离子体进行测试,并与其它测试方法进行了对比。首先以静电探针的基本理论为基础,自行设计和研制了等离子体单探针和双探针诊断系统,并研制了相应的匹配采样电路,首先利用它们对低气压空心阴极放电等离子体的参数进行了直接测量,观察和分析其探针伏安曲线与理论曲线的吻合程度。然后针对不同压强的空心阴极放电等离子体,通过对探针尺寸的调整,得到优化的探针条件,实现了对等离子体参数的有效测量,并与微波干涉法的测试结果进行了对比。最后,给出了静电探针的适用条件和范围与气体压强和电子密度关系的建议。