随着当今光学以及相关科学技术的迅速发展,光学器件的应用越来越广泛,尤其是非球面光学元件,因此迫切需要研究可以适用于脆硬材料非球面加工的超精密加工方法。磁流变抛光是国外近年来新兴的一种光学非球面超精密加工方法,而超声辅助磁流变抛光是在其基础上派生出来的新型抛光方法,它将电磁学、流变学、化学综合作用于光学加工中,可以实现对光学器件的高精密抛光。磁流变抛光为抛光区域可控的柔性抛光,在抛光表面不会产生亚表面破坏层,能很好的满足航空、航天、国防等领域光学器件的加工要求,有广阔的应用前景。磁流变液的循环系统是超声辅助磁流变抛光设备的重要组成部分,一个稳定的磁流变液循环系统对于保持超声辅助磁流变抛光特性的稳定有重要的作用。首先,研制了磁流变液的粘度控制系统,采用检测搅拌电机电枢电流变化的方法实时检测磁流变液粘度的变化。实验表明,此系统能够保持磁流变液粘度的稳定,对保持磁流变抛光特性的稳定有较好的作用。其次,理论分析了电磁铁磁场的空间分布,采用有限元分析软件对磁流变抛光所需的磁路进行了仿真和优化,设计出适用于本实验装置的电磁铁的磁路。最后,搭建出了本超声辅助磁流变抛光机床的磁流变液体循环系统,用该装置进行了磁流变抛光实验,实验结果表明,此系统能够实现稳定的磁流变液循环,所抛光的工件达到了很好的抛光效果。