离子束混合制备Sm-Fe合金薄膜及其磁性的研究

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【摘要】

：

该文采用先进的离子束混合技术制备Sm-Fe-Zr,Sm-Fe-N磁性合金薄膜,在Sm的重量百分含量为40、33、30、18的Sm-Fe多层薄膜中,注入能量为60kev的各种不同剂量的Zr、N,研究成分配

【作者】

：

徐送宁

【机构】

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东北大学

【出处】

：

东北大学

【发表日期】

：

1995年期

【关键词】

：

离子束 Sm-Fe合金薄膜磁性磁性合金薄膜离子注入

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该文采用先进的离子束混合技术制备Sm-Fe-Zr,Sm-Fe-N磁性合金薄膜,在Sm的重量百分含量为40、33、30、18的Sm-Fe多层薄膜中,注入能量为60kev的各种不同剂量的Zr<+>、N<+>,研究成分配比、注入剂量及衬底材料对Sm-Fe合金薄膜磁性的影响.通过透射电子显微镜(TEM)分析离子注后的微观结构,研究非晶态形成的实验条件.并将Co<+>、Cr<+>注入Sm-Fe多层膜,研究微量Co、Cr部分代替Sm-Fe合金中的Fe,对Sm-Fe合金薄膜磁性的影响.

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