【摘 要】
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本论文基于半导体激光正弦相位调制干涉测量技术,提出了几种用于物体位移、振动和物体厚度实时测量方法.本论文的主要创新之处有:1.提出了复合光源实时位移测量技术.采用由两
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本论文基于半导体激光正弦相位调制干涉测量技术,提出了几种用于物体位移、振动和物体厚度实时测量方法.本论文的主要创新之处有:1.提出了复合光源实时位移测量技术.采用由两个半导体激光器组成的复合光源,利用半导体激光器的光热效应,消除了半导体激光器正弦相位调制干涉仪中由电流调制所带来的测量误差,同时通过反馈系统,有效地减小外界干扰所带来的影响,信号处理系统由电路组成,能够实时完成对干涉信号的处理,实现了物体微振动的纳米精度实时测量.2.提出了较大量程的微振动纳米精度实时干涉测量技术.利用实时鉴相和实时phase-unwrapping技术,实现了物体位移的亚纳米分辨率较大量程实时测量.3.提出了用于距离实时测量的双正弦相位调制干涉测量技术.该干涉仪同时改变半导体激光器的波长和干涉仪的光程差实现对干涉信号的双正弦相位调制.采用贝塞尔函数比值法消除了调制光源波长引起的光强波动对测量结果的影响,提高了干涉仪的测量精度并扩大了测量范围.4.提出了用于平行平板厚度测量的双调制半导体激光干涉技术,实现了对透明平板厚度的实时高精度测量.5.提出了基于人工神经网络的大量程光纤实时距离干涉测量仪.
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