【摘 要】
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该文的主要理论研究内容如下.首先,该文对靶材采用块靶模型,研究了脉冲激光烧蚀作用产生的烧蚀面的运动以及固液相界面的运动规律,讨论了在脉冲激光作用过程中,固液相内的温
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该文的主要理论研究内容如下.首先,该文对靶材采用块靶模型,研究了脉冲激光烧蚀作用产生的烧蚀面的运动以及固液相界面的运动规律,讨论了在脉冲激光作用过程中,固液相内的温度分布随着空间和时间的演化,并以铝靶为例进行了数值模拟.这是前人工作没有涉及的领域,我们以期通过此部分的讨论能进一步为等离子体的自由膨胀问题提供合理的初始条件和边界条件.其次,该文研究了高能脉冲激光烧蚀产生等离子体的物理状态,并进行了差分模拟,接着深入研究了等离子体的等温膨胀、绝热膨胀以及在基片上沉积成膜全过程.最后,该文讨论脉冲激光工作参数如激光功率密度、波长等对薄膜特性的影响,理论结果给出怎样选择适当激光能量密度与波长有益于提高薄膜质量,为在实际中调节工艺条件提供理论指导.
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