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介质阻挡放电是一种较高气压范围下产生非平衡等离子体的放电方式。利用介质阻挡放电沉积碳氢薄膜，是一种新颖的方法。该方法具有放电装置简单、耗能低、气体耗量小以及可实现室温下多种基底上大面积成膜等优势。我实验室已经自1999年开始开展了关于这方面的研究工作，并取得了很多成果：已经应用介质阻挡放电制备出了质量较好的类金刚石膜。在等离子体增强化学气相沉积制备类金刚石膜中，向反应气体中掺入其他气体可以改善膜的特性。在介质阻挡放电制备薄膜中加入掺杂气体的研究还没有报导。本文主要研究在介质阻挡放电等离子体增强化学气