【摘 要】
:
在微电子光刻工艺中,光源的稳定性直接影响着基片的曝光量,随着集成电路和各类微电子元器件集成度的不断提高,对光源的稳定度提出了更高的要求。研制高性能的恒功率超高压汞灯电
论文部分内容阅读
在微电子光刻工艺中,光源的稳定性直接影响着基片的曝光量,随着集成电路和各类微电子元器件集成度的不断提高,对光源的稳定度提出了更高的要求。研制高性能的恒功率超高压汞灯电源,可以有效提高光强稳定度,实现曝光量的精确控制。本课题源自中国电子科技集团公司第四十五研究所承担的纵向课题特种器件双面曝光机的一项关键技术:恒功率超高压汞灯电源的研制。
本文分析了超高压汞灯的电气特性以及对电源的特殊要求,提出用模拟乘法器将电压、电流信号转变为功率信号,通过脉宽控制(PwM)技术实现汞灯恒功率控制的总体方案。
进行恒功率汞灯电源的设计,将模拟乘法器、电流滞洄比较器应用于脉宽控制电路,实现了对汞灯的恒功率控制和启动电流的限制。
对电源系统进行可靠性设计,提出了提高功率稳定精度和系统可靠性的具体措施,保证了电源系统的功率稳定度和可靠性。
对电源系统进行测试分析,验证了设计思想和技术指标;测试结果表明,技术指标完全达到了设计要求。
本课题研制的特种器件双面曝光机经过有关部门鉴定,现已交付用户使用,经过用户的实际使用考核,电源系统性能稳定,光强稳定性好、光源质量高。充分说明恒功率汞灯电源的设计是正确的、成功的。
其他文献
目前建筑工程中重要组成部分之一就是土木工程的建设,它的设涉及范围非常广泛,对整体工程建设来说,它具有一定的核心性.所以我们必须针对不同的施工阶段和组成部分制定不同的
最近几年来,全球人口剧增,加重了土地资源的拮据,从而导致人们的住房问题更加紧张。传统意义的住房已满足不了人们的需求。在这种情况下,高层建筑应运而生。全球建筑理念变革
课堂是实施素质教育的主阵地,评价的目的是全面了解学生的学习状况、思想状况,激励学生的学习热情,促进学生的全面发展。因此课堂评价应重视学生在评价中的主体地位。
摘 要:习近平总书记提出:“在21世纪中叶,建成富强民主文明和谐美丽的社会主义现代化强国”。和谐美丽社会的构建,离不开生态文明的建设,尤其是河长制工作的推行和开展。加强河长制建设,首先要明确目前全面推行河长制过程中出现的问题,并针对实际存在问题提出相应改进措施。从而建立和谐文明的社会,促进生态文明建设,提高人们的幸福感。 关键词:河长制工作;问题;对策 中图分类号:X52 文献标识码:A 文章
近年来,随着可持续发展理念的不断深入,绿色建筑工程逐渐在建筑行业中也日益兴起.出于对环境的保护和资源的节约,绿色节能观念必须要落实到建筑工程当中,应用绿色节能施工技
江苏省作为化工大省,化工行业的安全生产形势严峻,2019年发生的江苏响水天嘉宜化工有限公司(以下简称“天嘉宜公司”)“3·21”特别重大爆炸事故(以下简称“响水事故”),对人
随着城市现代化进程的不断加快,人们对于与城市相匹配的环境设施的要求也逐步提高,对于园林的绿化建设也更加重视.为此,我国的城市建设管理也对绿化项目加大了投入力度,通过
应急管理,重在一个“急”字,“急”是对速度的要求,到达现场的速度,现场信息回传的速度,沟通决策的速度,决策下发执行的速度.rn2018年12月28日,全国工业和信息化工作会议部署
为进一步加强幼儿园安全卫生管理工作,梳理安全卫生工作科学管理经验,构建全县幼儿园安全卫生管理专业队伍,近日,广饶县“幼儿园常规管理规范年”暨省级示范园“安全卫生工作
随着城镇化的不断发展,我国城市建设占地越来越大,地价随之而增高.在这种趋势下,我国建筑行业呈现出越来越高的发展态势.特别是大城市和中心城区,高层建筑已经成为主流.