当前,我国新一代信息技术产业发展速度不断加快,受到国家和市场高度重视,成为了新旧动能转化的重要推动力。然而目前我国新一代信息技术产业在发展中还面临着创新能力弱、缺乏高端产品等问题。近年来,国家为了促进新一代信息技术产业的发展,也制定了大量的税收优惠政策,如增值税即征即退、企业所得税定期减免等。然而这些税收优惠政策对新一代信息技术企业创新效率的作用机制如何,激励效应如何,还有哪些完善空间,这些问题都值得深入探讨。本文采用定性与定量相结合的方法,分析税收优惠对新一代信息技术企业创新效率的激励效应。在定性研究部分,首先通过对基础理论及税收优惠影响企业创新效率的机制分析,搭建本文的理论基础。其次对我国新一代信息技术企业创新现状以及现行税收优惠政策进行了分析和归纳。定量研究中,以A股上市公司161家新一代信息技术企业为样本,先采用DEA方法计算企业创新效率,随后采用Tobit模型分析税收优惠政策对新一代信息技术产业创新效率的激励效应,并分企业性质和规模进行了异质性分析。研究结果表明,目前我国新一代信息技术企业创新效率仍处于较低水平;税收优惠能够显著提高新一代信息技术企业创新效率;在异质性分析部分发现,税收优惠能够提高非国有企业创新效率,但是对国有企业无显著影响,对中小规模企业的激励效应高于大规模企业。文章最后,根据现状分析和实证分析部分得出的结论,提出了完善税收优惠结构、增加流转税优惠,提高优惠政策系统性、连续性,加强对科研人才的税收激励,实行差异化税收优惠政策及完善配套措施等建议。