固态电解质作为离子传输层在全固态锂离子电池起着重要作用。NASICON型Li_1.5Al_0.5Ge_1.5（PO₄）₃（LAGP）电解质材料具有高离子电导率,宽电化学窗口和高界面稳定性,被认为最有商用价值的固态电解质之一。因此,深入研究LAGP固态电解质,开发低成本制备方法,制备其薄膜材料,深入研究其离子输运特性,具有重要的科学意义和应用价值。首先以低成本无机锗（GeO₂）作前驱物,分别通过高温固相法和新型溶胶凝胶法在800¹000℃的烧结温度下制备LAGP电解质材料。利用XRD、EDS和TG-DSC分析了煅烧期间样品的结构、成分和物相变化,确定所制材料为纯相LAGP固态电解质。利用SEM、TEM和EIS对LAGP的微观形貌和离子电导率进行了研究,发现材料的晶粒尺寸随着烧结温度的升高而持续增大,但由于过高的烧结温度导致材料内部出现晶粒团聚现象,使得晶粒之间空隙增大,进而导致其离子电导率随烧结温度的升高先增大后减小,且通过高温固相法和溶胶凝胶法950℃烧结8小时的LAGP颗粒平均粒径分别为1μm和0.5μm,其中溶胶凝胶法制备的纳米晶粒局部存在非晶相。900℃烧结8小时的LAGP样品离子电导率最高,但溶胶凝胶法所制材料的离子电导率(4.18×10^-4S/cm,活化能为0.30eV)优于高温固相法(3.76×10^-44 Scm^-1,活化能为0.35eV)。然后采用磁控溅射法,Ar为工作气体,以不同衬底温度50⁶00℃在Si衬底上首次沉积LAGP固态电解质薄膜。通过XRD和EDS分析薄膜材料的结构和元素构成,发现衬底温度低于200℃时获得非晶态LAGP薄膜,而当温度达到500℃时,薄膜为（104）晶面择优取向的晶态LAGP薄膜。通过SEM观测,发现不同衬底温度沉积的薄膜表面形貌由均匀光滑的非晶态向粗糙的晶态演变,且LAGP晶态薄膜形貌表现为不规则态,平均粒径尺寸为1μm。EIS测试表明,LAGP薄膜的离子电导率随衬底温度的升高先增大后减小,200℃沉积的LAGP非晶态薄膜离子电导率高达1.29×10^-66 S/cm,活化能为0.25eV。非晶态LAGP薄膜结构开放无序,且体积大,因此其具有良好的离子导电性能。