近年来，光伏产业飞速发展，作为生产太阳能电池原材料的多晶硅引起人们的关注，多晶硅的主要生产方法为改良西门子法、冶金法、硅烷法等，其中改良西门子法是生产多晶硅的主流工艺，应用尤为广泛。在改良西门子法工艺过程中会不同程度的产生废水，因工艺条件、设备运行和管理水平不同，废水的成分、水量也会发生变化，排放的氯硅烷导致排水中氯离子含量偏高，从而影响其回用以及排放，而又因其在整个生产环节中排放量大，如何将这些水量合理利用、提高多晶硅系统水的利用率、达标排放、降低环境污染将是必须关注的重要环节。　　本研究主要利用超高石灰铝法对多晶硅生产排水进行处理，降低排水中的氯离子含量。各影响因素的实验结果表明：药剂采用湿投法更有利于氯离子去除率的升高，去除效果优于干法投加，并且有利于实际生产过程中的控制及运行。加药顺序采用氢氧化钙优先投加、随后投加偏铝酸钠的顺序，有利于去除率的提升。在加药配比（氢氧化钙：偏铝酸钠：氯离子）的比例为10:5:1（摩尔比）时氯离子的去除率达到最高，但是通过去除率与处理成本的对比，最具性价比的配比（氢氧化钙：偏铝酸钠：氯离子）比例为6:3:1（摩尔比），该配比在保证去除效果的同时，降低了加药成本以及固废处理成本。最佳反应时间为3.5 h，但在反应时间为1~2h时处理性价比比较高。氯离子浓度的升高有利于氯离子去除率的提高，氯离子过高的情况下可考虑二次或者多次除氯，氯离子去除率能达到80％以上。在加药位置的选择上，在废水处理系统进口投加药剂的效果要优于在系统出水处投加药剂，能更好的利用现有的废水处理系统设备，减少设备投入成本。经过超高石灰铝法处理过的废水，氟离子含量由68.5 mg/L降至5.18 mg/L，对氟离子有良好的去除效果。　　从总体效果来看，利用超高石灰铝法降低多晶硅生产废水中氯离子含量，具备向工程实践转化的可能性。