液相芯片在蛋白，核酸和其他生物分子的检测及定量方面的研究受到很大的关注及研究。在各种材料的液相芯片中，二氧化硅芯片因其生物相容性，荧光背景低，材料稳定等诸多特点受到了研究者青睐。一般二氧化硅材料的生物器件固定生物分子是靠戊二醛-胺的化学方法连接的，但疏水化连接方法的微芯片在实验离心清洗过程易损失，这样实验的重复性就不是很好，特别影响到多重检测。因此，我们选取了亲水性比较强的分子Tween修饰二氧化硅芯片，用于固定生物分子。Tween是一种常用的表面活性剂，在生物化学中，主要用于降低非特异性蛋白吸附，其本身分子量也比较小，对蛋白几乎没有吸附。本论文主要研究了通过光刻形成图形编码的二氧化硅液相芯片。具体的是，运用微纳加工技术，在硅衬底上涂覆牺牲层;进而在其表面生长或沉积制备单层或多层复合的微球材料层;对微球材料层进行光刻胶涂布、光显影、刻蚀、清洗的半导体微加工制程，生成编码的微图形或阵列;再按制备要求的微球尺寸再次光刻，并清洗去除微球轮廓以外的微球材料层。接着，通过在二氧化硅芯片表面修饰双亲性的分子Tween连接生物分子，该修饰分子可以减少芯片的损失，同时提高实验的重复性以及提高生物分子的检测灵敏度。在本论文中我们应用Tween修饰的芯片，通过荧光免疫夹心法可以检测到浓度为1pg/ml的蛋白。同时也对核酸分子进行了检测，对我们的方法进行更进一步的完善。